[스포츠서울 김태헌 기자] 일본의 반도체 소재 부품 수출 규제와 관련, 삼성전자가 최근 반도체 공정에 사용되는 고순도 불화수소(에칭가스) 일부를 국산품 등으로 대체했다.

삼성전자 관계자는 3일 “일부 공정에 일본산 이외의 제품을 투입했다”며 “민감도가 낮은 공정부터 점진적으로 확대해나갈 계획”이라고 밝혔다. 업계에서는 이번 일본산 이외 제품에 국내 기업의 불화수소가 포함된 것으로 추정하고 있다.

삼성전자는 수출규제 직후부터 일본 불화수소를 대체할 수 있도록 국내외 제품의 테스트를 진행해왔으며, 대체 불화수소를 투입한 건 일본의 수출 규제 시행 후 약 한 달 반 만이다.

SK하이닉스는 아직 국산품을 투입하지 않은것으로 알려졌고, LG디스플레이는 이미 국산 불화수소를 공정에 투입했다.

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